应用场景

精准适配  智领未来

多晶硅实验室分析解决方案

AI时代的到来,我们致力于AI与实验室融合,提供更高效、更精准、更可靠的设备与系统,让实验室更懂我们的想法,以半导体行业为核心,助力科研实验发展。半导体实验室方案为半导体实验的杂质检测工作进行赋能,包括但不仅限于工业硅体金属杂质、多晶硅表金属杂质的检测。

半导体行业对于金属污染物、洁净室AMC污染物等都有与企业自身相对应管控要求,晶圆、衬底、电子化学品、电子特气、半导体设备等各个环节的制造过程都需要对各类污染物进行严格的检测。

对于这一系列的污染及对应的检测,是高(北京)智能科技推出了多种解决方案,拥有超级丰富的经验,不仅可以就客户实验室进行定制化设计,还可以直接提供高精度检测仪器和在线智能系统,做到一站式全方位服务。

半导体行业在芯片制造过程(扩散、沉积、刻蚀等)中使用到的各种易燃易爆、有毒有害的电子特气也是我们检测的内容之一,常见的电子气体包括了可燃气体、硅烷、磷烷、锗烷、氨气、氯气、氰化氢、磷化氢、氯化氢等气体;这些特气在使用过程有出现泄漏的可能性,可燃气体发生泄漏可能会引起爆炸事故,有毒有害气体泄漏则会对人产生直接的影响,造成人员中毒甚至直接威胁人员的生命安全。

是高(北京)智能科技针对半导体行业各个环节的金属污染检测,推出的系列解决方案及产品,可以满足各类半导体用户对金属污染的相关检测需求,为中国半导体产业贡献出自己的一份力量。

01 多晶硅表面金属污染物自动分析系统

02 多晶硅体金属污染物自动分析系统

02 工业硅体金属杂质自动分析系统

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