随着半导体行业的快速发展，在线分析系统也快速融入了半导体工艺流程中，在线分析系统对半导体行业的选材、进料及生产工艺等流程进行了优化，简化了工艺的操作流程，提供了大量的数据支撑及成熟应用，旨在为客户解决多晶硅生产过程中硅烷气体、总碳及其他杂质的检测与控制。

在线分析系统以半导体实验室成熟的分析方法及设备为基础，结合自动化及AI算法，助力工厂快速生产，提高产品质量，改进生产工艺，对未来高纯晶硅技术储备有深远意义…

在线分析技术在半导体领域的应用可以帮助企业实现过程控制和优化、设备监测和维护、产品质量检测、环境监测和保护以及能源管理和优化等方面的目标，提高企业的生产效率、降低成本、提高产品质量、保护环境以及提高企业的竞争力。

方案特点

01 预设样品分析方法，安装就位并运行稳定后即可使用，无需大量调试工作｡

02 通过程序周期设置，可实现自动运行，现场无人值守，最大程度节约人力资源

03 独有的数据信号传输模块：可选Modbus协议下的RS485数字信号，或模拟4~20mA信号传输。

04 一个分析周期12组数据并发，DCS系统中控室与现场实时联动，可远程操作仪器，更改方法设置、进样周期等，无需到现场即可选择完成所有操作。

05 可对各组分数据包括温度、可燃气体等参数设置报警值，当超过报警值自动启动安全模式，保证现场安全。