行业背景

多晶硅是半导体和太阳能光伏产业的重要基础材料。在半导体领域，多晶硅作为晶圆的主要原料，用于制造各种芯片，对半导体器件的性能和质量有着至关重要的影响。同时，在太阳能光伏产业中，多晶硅是太阳能电池的主要原材料，对光伏电池的效率和使用寿命起着决定性作用。

由于多晶硅在半导体和光伏产业中的关键作用，其质量控制显得尤为重要。多晶硅的纯度、杂质含量、晶体结构等特性都会直接影响到最终产品的性能。因此，对多晶硅进行严格的质量控制和分析检测是多晶硅行业的重要环节。

在线GC-MS系统

是高(北京)智能科技与安捷伦公司战略合作，依托于安捷伦公司出色的气质联用仪分析技术，生产出性能最优异的在线气质联用仪，是多晶硅生产中过程产物氯硅烷及硅烷气体组分中“碳”含量的测定及其它化合物的定性及定量分析，能实现比气相色谱检测器更高的最灵敏度的分析应用。

在线GC-MS系统由控制管理系统QC智慧中台，防爆安全系统、防爆全自动预处理系统、防爆在线自动化分析系统（在线GC-MS）组成。

该系统检测限低、能耗低、操作简单、易维护，适用于多晶硅、电子特气、高纯气体生产工艺管线在线检测，在线设备可实时分析气体、液体样品质量数据，预设样品分析方法，安装就位，运行稳定后即可使用。

高智能化工业控制系统

防爆型在线气相色谱质谱联用仪

全流路惰性化防腐处理

样品预处理自动置换

可靠的定性和定量分析

系统通过程序周期设置，可实现自动运行，现场无人值守，最大程度节约人力资源。

独有的数据信号传输模块，支持一个分析周期内，多组数据同时传输至DCS系统、MES或LIMS中控室与现场实时联动，可远程操作仪器，更改方法设置，进样周期，无需到现场，即可选择完成所有操作。

系统优势

1 实时监测

在线GC-MS系统能够实时对多晶硅生产线中的气体组分进行监测，包括甲基二氯硅烷，三甲基氯硅烷，甲基三氯硅烷等关键工艺介质。

这种实时监测能力使得生产者能够及时了解生产过程中的气体变化，从而进行及时调整和优化。

2 优化生产工艺

在多晶硅生产线中，在线GC-MS系统用于监控关键工艺步骤中的过程产物杂质元素变化，确保工艺参数的稳定性和一致性。通过实时数据分析，优化生产工艺参数，提高生产效率、降低生产成本以及保证产品质量。

3 质量控制

通过精确测量各组分的浓度和比例，对于提高多晶硅的纯度、稳定性和性能至关重要。