是高（北京）智能科技自主研发生产的氯硅烷在线杂质自动分析系统在内蒙古新特、青海丽豪、四川永祥等多晶硅生产工艺现场成功实现了安装部署。

氯硅烷在线杂质自动分析系统对于多晶硅生产线的意义在于监控生产过程、优化生产工艺、提高生产效率、降低生产成本以及保证产品质量。

该系统是多晶硅生产过程中不可或缺的重要工具，对于推动多晶硅生产行业的可持续发展具有重要意义。

氯硅烷在线杂质自动分析系统

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该系统提供实时的数据反馈，帮助生产人员及时调整工艺参数和操作条件，以适应不同生产阶段的需求。

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通过在线系统检测氯硅烷中各组分含量，从而调整工艺参数，确保多晶硅生产过程的稳定性和产品质量的可靠性。

安全系统

物理安全

主体：正压防爆

防爆电源控制系统

防爆报警控制系统：氯化氢、低氧、可燃、烟感报警

视频监控与预警系统：防爆，24小时实时监控

物理尾气排放控制：正压、稳定

软件安全

权限管理和数据加密技术

全自动预处理系统

全自动预处理系统针对样品的具体工况，实现样品预处理功能：

控制压力

控制流量

吹扫置换

伴热处理

汽化处理

PLC逻辑控制系统

样品在不失真条件下，满足在线分析的要求从而保证在线分析系统的长期、可靠、准确运行。

在线气相色谱分析系统

防爆型气相色谱分析系统

该系统满足用户完成在线氯硅烷液态物料中常量氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、低沸、高沸物质的定量分析。

该系统技术方案可使用不同检测器，适用于高纯气体、电子特气生产工艺，为过程质量管控提供数据支撑。

通过程序周期设置，可实现自动运行，现场无人值守，最大程度节约人力资源。具有独有的数据信号传输模块，可实现24小时全天候监控，最多支持一个分析周期内，多组数据同时传输至DCS系统。