三氟化氮（NF₃）是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。凭借其卓越的蚀刻速率与高度选择性，在等离子体刻蚀及化学气相沉积（CVD）的清洗过程中扮演着至关重要的角色。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量日益增加。

在GB/T 21287-2021标准中，三氟化氮的气体纯度最高可达5N级，且对氟离子的限量要求设定为不超过0.5ppm。因此，在生产三氟化氮的过程中，对其进行精确的监测与分析显得尤为重要，这不仅关乎生产安全，还直接决定了产品质量能否符合相关标准。

电子级NF₃在线自动化分析解决方案

NF₃中主要的杂质有Ar、O₂、CO、CO₂、CF₄、N₂O、SF₆等。只要准确测定NF₃气体中各种杂质气体的含量，就可以求得NF₃的纯度。

针对这一需求，是高智能科技推出了电子级NF₃在线自动化分析解决方案。

该方案主要由QC智慧中台系统、在线前处理模块、在线自动化分析模块（在线气相色谱系统）等组成。通过这一系统，样品自动检测分析数据通过智慧中台自动生成报告，并同步至LIMS或DCS系统，为电子级NF₃的质量管控提供可靠的数据支撑。

01 独有专家系统—智慧中台系统

• 数字化

系统提供仪表盘和大屏功能，能够直观地将运行数据、分析数据、仪器状态等以图表、曲线等多形式展示，并构建仪器运行和维护的数据中心。

• 信息化

以数据为核心，通过收集、分析生产流程中的各种样品数据，实现MSA/SPC的表征和可追溯性，为决策提供科学依据。

• 自动化

系统模块互联互通，具备样品自动检测分析，可实现多个取样点自动进样分析及数据异常提醒。

• 智能化

具备行业专家系统，除了能够对GC分析及设备进行诊断，也能同前处理系统、后处理系统、分析站房配套设备设施进行联动。

• 安全性高

如出现样品泄露、烟感报警、检测到有毒有害气体、温度或湿度异常等状态时，系统能够自动与DCS系统和LIMS联动，关闭进样系统，并即时通知相关部门的有权限人员。

02 在线前处理模块

• 低污染管路

定制化防腐蚀流路设计、封闭化处理，防止样品污染，确保取样人员安全的同时，也有效保障样品结果的准确性。

• 自动化前处理

样品通过自动采集与前处理流程（包括控制压力、控制流量、吹扫置换、水洗处理以及碱洗处理），有效减少了人为操作所带来的误差。

• 远程实时监控

通过QC-智慧中台系统，可实时监控样品前处理过程状态并实现智能化控制，远程处理报错信息、异常数据及报警等。

03 在线气相色谱系统

该系统融合安捷伦公司卓越的色谱分析技术，构建了智能化在线分析平台，有效减轻了样品成分检测与研究工作的负担。

• 在线实时分析

样品从进样到数据分析全过程自动化，操作便捷，日处理通量达48个样品，内置定量分析功能，能够准确分析样品中的各种组分含量。

• 搭载氦离子检测器

系统测量精度高，痕量气体分析ppb级别、检测限低、可靠性高、适用范围广且拓展性强。

• 高效联动

可与在线前处理模块联动，确保样品从进样到检测分析的准确性和稳定性，实现样品的个性化自动采集、处理和分析。

• 远程实时监控

通过QC-智慧中台智能化控制，可远程谱图处理和查看数据，实时监控样品分析状态并远程编辑样品方法和序列，自动导出分析报告同步至DCS系统或LIMS系统。