· 在线气相色谱仪

✅  整合安捷伦GC进行改造，搭配防爆柜设计，适合在线分析应用。

✅  通过阀改装技术搭载进口PDD/DID检测器，痕量杂质检出限≤10ppbv（以CH₄计），数据重复性误差≤3%。

✅  单批次样品全流程分析（含抽真空、吹扫、置换、进样、分析）≤30分钟，设备可长期24h连续运行，保持高灵敏度、高稳定性、低漂移运行状态。

在线红外光谱

✅  对HF进行快速定性筛查与半定量监测，完成生产现场的实时趋势跟踪和异常预警，与在线GC一同实现"FTIR快速筛查 + GC精准确认"的互补监测策略。

· 水分分析仪

✅  可测定六氟化钨中的痕量水分（H₂O），控制水分保障产品纯度、防止管路堵塞与设备腐蚀。

· 在线预处理系统

✅  具备完善的过滤、真空置换、多级吹扫、防液化伴热、完全适配WF₆强腐蚀、易水解、易液化特殊工况。

· 防爆分析小屋

✅  采用正压防爆设计，维持屋内正压，阻止有毒气体侵入；集成WF₆、HF等多通道气体检测，超标自动关闭阀门并进行排风/吹扫/真空处理。

· QC智慧中台系统

✅  实时监控样品分析状态并远程编辑样品序列，自动导出分析报告，数据合规可溯源，具有LIMS/QMS系统子模块。