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电子特气分析解决方案
2024-05-31 15:09:35

电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气,因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。

 

2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告,将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制,气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算,气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。是高(北京)智能科技应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要,及时提供整体解决方案,满足用户应用需求。

 

电子特气大部分气体均存在腐蚀性,并且杂质含类多,其含量检测要求需达到在ppb级别。对此,是高(北京)智能科技利用搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外光谱仪的完美配合,已成为目前“电子特气纯度分析”中更为领先的解决方案。

 

在电子特气领域的应用解决方案可以帮助企业实现气体成分分析、气体流量监测、气体压力监测、气体温度监测、气体污染物监测以及气体泄漏监测等方面的目标,提高企业的生产效率、降低成本、提高产品质量、保护环境以及提高企业的竞争力。

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